使用 TEGAM 公司 1740 型微欧计测试微小尺寸被测件
关键词：低电阻测试，微欧计，贴片元件，微小尺寸元件
简介
华贺公司搭建了一个测试系统，对微小尺寸的被测件进行微欧计和毫欧级的直流低电阻测试。该系统基于
TEGAM公司1740型高微欧计，配合专门的探针台和测试探针，实现四线式的电阻测试，保证测试精
度。
图 1-TEGAM 公司 1740 型微欧计采用四线式 Kelvin 测试表笔，具有 0.02% 的基本和 1μ? 的分辨率。
1740 型微欧计支持 RS-232 、 GPIB 通信接口、以及 PLC 控制，可以实现程控操作 ( 型号 1740/GPIB) 。
应用介绍
针对微小尺寸器件的电阻、电容和电感的测试，给器件制造商和研究人员带来了很大的挑战。尤其当需要
高测试时，会产生很多问题。
由于微小尺寸电阻测试的关键是对被测件的物理接触，因此测试的个难点就是定位被测件。使用精密
配置的探针台，可以准确固定被测件，同时可以灵活的移动探针进行测试。
准确定位被测件之后，接下来的难点就是精密的低电阻测试。传统的测试技术，微欧和毫欧级的低电阻测
试需要大电流做为激励源，从而在被测件两端产生较大的电压降，便于测试。但是对于微小尺寸的被测件，持
续的大电流会对被测件造成伤害。
TEGAM公司有超过15年的低电阻测试经验，并且已经开发出一系列的高、高速的微欧和毫欧级电阻
测试的测试仪器，这些产品完美解决了上述问题。
探针台、显微镜和测试探针
为了解决微小尺寸被测件的固定问题，我们选用一款手动探针台。该探针台使用真空钳位平台，可以实现
微小尺寸被测件的稳定放置，并且不影响测试探针接触被测件表面。此外，该平台可以通过X,Y,Z三轴移动
台，实现的位移控制，便于测试探针与被测件的接触。
真空探针台的外围是一个磁性的平台，两个带磁性的三轴定位器分别连接在平台的两端，用于固定和定位
测试探针。和探针台的位移调整类似，测试探针也可以进行精密的X,Y,Z三轴移动，方便探针与被测件进行接
触。
在探针台和测试探针的上方，是一个三目显微镜，用户可以非常容易的对被测件和测试探针的位置进行观
察，并且进行相应的操作。
三目显微镜的优点是配有一个数字摄像头，可以复制目镜中观察到的图像。在本应用中，我们使用一个
210万像素的数字彩色CCD相机，配合相应的软件，可以在电脑显示器上对测试过程进行观察，并在需要的情
况下进行记录。
对于毫欧量级的小电阻测量，的降低表笔、探针和接触对测试结果的影响是非常重要的。这里我
们使用可沿Z轴移动的四线测试 (Kelvin) 探针，针尖间距0.04mm，这样可以实现对微小尺寸被测件的
四线接触。
图 3- 左 : 四线测试表笔，探针间距 0.04mm; 真正四线到前端
右 : 在 40 倍放大镜下观察 0201( 长 0.6x 宽 0.3mm) 贴片电阻的测试 .
TEGAM 1740 型微欧计
该测试系统的是TEGAM公司1740型微欧计，这一型号的独特特性使其成为该应用的选。首先，
1740使用正反向电流激励源，这种双向测试方式保证1740的测试结果不受接触点热电压的影响，从而保证小
电阻测试的。
其次，1740内部采用高灵敏度的低电压测试电路，降低了对激励源电流的要求。这意味着，再也不用担
心电流过大对被测件造成损坏。
第三，1740内部有高、高稳定性的标准电阻，测试过程中进行自动校准，随时修正环境温度和仪器
温度的变化，保证测试不受影响。
正是由于1740的上述特点，实现了在微欧和毫欧量级0.02%的基本测试。同时1740配有RS-232
和GPIB通讯接口，可以很容易的兼容到现有或者新的软件系统当中。
1740型微欧计和探针台的组合，为微小尺寸被测件的直流低电阻测试，提供了高、界面友好的解决
方案。真空探针台和测试探针可以解决微小尺寸器件的固定和接触，1740型微欧计提供该应用所需的高
测试。如果用户对测试量程有更高的要求，还可以选择1750型微欧计，测试分辨率将达到0.1微欧。
TEGAM 公司简介
TEGAM公司位于总部位于美国中部俄亥俄州，从事精密测试仪器的研发和生产。TEGAM公司微欧计
产品系列包括高速、高的台式微欧计，以及小巧轻便、性能稳定的便携式微欧计，在国内、外拥有大量的
客户群。TEGAM微欧计系列标配多种多样的测试表笔，满足不同客户的测试需求。
